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1.壓縮空氣泵要定期排水，每月排水1次；遇梅雨季節至少一星期排水1次，如果長期不排水會導致壓縮空氣泵損壞。
2.定期查看機械泵油標（約3-6個月時間檢查一次），泵油是否不夠或油質變黃變黑，及時加注或更換泵油以免造成泵性能下降或損壞。分子泵的油標也要定期檢查油變少變黑要及時更換（約1年時間檢查一次）。
3.定期清理腔室內的殘留物（根據設備使用頻率至少1-3個月要清理一次），保證腔室內干凈，無材料殘留物，無粉塵，無水，無油污；可在腔室內屏蔽板上貼上鋁箔紙便于清理。
4.設備冷卻水管在使用2年后，要檢查塑料水管的老化程度，一般不宜超過5年，達到5年需要更換所有塑料水管；設備長期不使用時排空塑料水管里的水，避免低溫凍裂水管。
5.循環冷卻水溫度不宜調節過低，和室溫不能相差0℃以上，保證水管外壁無冷凝水（冷凝水滴下來會損傷膜厚儀探頭及其他電源），一般設置20-25℃，定期檢查冷卻水，少了要添加，水質變黑，變黑要全部更換，建議使用去里子水
6.水冷基片臺的油封根據使用頻率的不同，2-3年左右會有老化情況，有旋轉卡頓或漏水風險，建議定期檢查更換。
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