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1.如遇緊急停電，水流，水壓報警等故障，分子泵還在運轉，此時設備恢復后腔室不可操作放氣操作，需靜止1小時以上，才可執行放氣操作否則可能會損壞分子泵。
2.設備運行時應注意蜂鳴器有無報警及報警信息區應無報警信息，如報警發生時應停止設備運行，排除故障后才使用設備。
3.設備運行環境：溫度小于35℃，濕度小于百分之80，空氣無粉塵，設備在潔凈環境中使用。
4.分子泵屬于精密部件長時間工作時，一定要保證冷卻降溫，分子泵不能直接抽大氣，應避免違規操作造成分子泵在高速運轉時暴露大氣損壞；分子泵、機械泵的使用和維護應嚴格按照相應說明書上的規定進行。
5.真空腔室暴露大氣應盡可能的短，設備不使用時應抽上真空保壓，保證腔室環境不被污染，以免影響后續實驗結果。
6.加熱樣品可隨腔室內冷卻，真空腔室內溫度＜60℃以下時再暴露大氣為宜，溫度太高操作可能會發生燙傷！
7.真空腔室內要保持清潔，定期清除腔室的殘留物，保證腔室內無油污，無水，無粉塵，可貼鋁（錫）紙定期更換。
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