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設備特點：
★系統可選擇配備低氣壓濺射技術，制備薄膜致密，對基底損傷小
★J濺射腔體采用SUS304不銹鋼材料，腔體內表面包括屏蔽板全部鏡面拋光，可以獲得潔凈的工作環境和良好的真空度
★西門子PLC+觸摸屏手自動控制或電腦+PLC全自動控制可選
設備參數：
★腔體尺寸（L×W×Hmm)：1500×850×1900/1500×850×1900
★設備尺寸（L×W×Hmm)：440×440×450/550×440×450
★基片臺：最高溫度 500℃ 控溫誤差±1℃
★真空極限：（2E﹣05）Pa
★抽速保壓：（8E﹣04）Pa≤20min保壓12小時≤5pa
★托盤均勻性優于±3％~±5%
★濺射靶可選取矩形靶（210mm×210mm/300mm×300mm）和圓形靶濺射尺寸
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