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設備特點：
★全不銹鋼真空腔室，保證系統的耐久性及操作安全性
★更的小體積，系統采用模塊化設計，可擴展性高
★系統采用機械泵+進口分子泵組成高真空系統，抽到工作高真空僅需15-20min，節省實驗時間
設備參數：
★腔體尺寸（L×W×Hmm)：Φ220×H340（圓柱型）
★設備尺寸（L×W×Hmm)：600×600×1000
★基片臺：基片樣品臺加熱溫度室溫≤350°
★真空極限：（5E﹣05）Pa
★抽速保壓：（8E﹣04）Pa≤30min保壓12小時≤8pa
★托盤均勻性優于±3％~±5%
★濺射靶槍兩個2英寸濺射尺寸2-3英寸
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