密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態(tài)下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質(zhì)量的空氣所輸" />

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產(chǎn)品中心
PD-400C高真空磁控濺射設(shè)備
產(chǎn)品摘要
該磁控濺射系統(tǒng)的用戶群體為科研院所與高校實驗室,核心部件均采用歐美知名品牌,技術(shù)先進,性能穩(wěn)定,自動化程度高可替代進口。
產(chǎn)品介紹

設(shè)備特點:

★兼容直流和射頻濺射源,濺射金屬、非金屬及化合物薄膜

★良好的薄膜均勻性和重復(fù)性,可沉積金屬、半導(dǎo)體和絕緣材料,可拓展沉積多層膜及復(fù)合膜

★3個3英寸圓形靶槍,桿狀安裝,共焦向上濺射

設(shè)備參數(shù):

整機尺寸(L×W×Hmm):850×1100×1900
★腔體尺寸(L×W×Hmm):400×400×380

基片臺:最高溫度 600℃控溫誤差±5℃

真空極限:(5E﹣05)Pa

★抽速保壓:(8E﹣04)Pa≤30min保壓12小時≤8pa     

★托盤均勻性優(yōu)于±3%~±5%

濺射靶槍三個(2-3英寸)濺射尺寸2-4英寸



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