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產(chǎn)品中心

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PD-60/80MP微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備

產(chǎn)品摘要

微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備具有性能先進(jìn)、功能完善、結(jié)構(gòu)合理，使用方便、安全可靠、外形美觀，特別適合應(yīng)用于單晶和多晶金剛石膜、類金剛膜的化學(xué)汽相沉積(CVD);材料表面處理和改性；低溫氧化物的生長(zhǎng)等領(lǐng)域。

產(chǎn)品介紹

設(shè)備特點(diǎn)：

★微波系統(tǒng)微波頻率2450±25MHz 微波泄漏≤2 mw/cm2

★真空系統(tǒng)工作氣壓范圍0~250Torr,自動(dòng)穩(wěn)壓范圍40~250Torr

★氣路系統(tǒng)自帶四路MFC,可擴(kuò)展至六路

★自帶缺水，缺氣，電源缺相，等離子體偏移，過溫過載，打火等自動(dòng)保護(hù)，生產(chǎn)流程通過工藝配方自動(dòng)控制，全自動(dòng)溫度控制，氣壓控制等

★軟件配置西門子PLC+10寸西門子觸摸顯示屏，所有操作均可在觸摸屏上完成

設(shè)備參數(shù)：

★輸出功率：0.6kw~6kw /0.6kw~15kw 連續(xù)可調(diào)

★生長(zhǎng)臺(tái)：沉積臺(tái)為80mm，高度為110mm/沉積臺(tái)為100mm，高度為110mm

★基片臺(tái)：電動(dòng)升降式水冷直徑80mm鉬基片臺(tái)直徑≥50mm/電動(dòng)升降式水冷直徑100mm鉬基片臺(tái)直徑≥75mm

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PD-60/80MP微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備

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