掃一掃
關注公眾號
★整機外形尺寸：L1000×W750×H1600(mm)
★反應腔尺寸：520×520×H600(mm)，約150L
★清潔尺寸：500×500mm
★射頻電源：13.56MHz，600W
★氣體流量控制：1-2路質量流量控制器（0~500SCCM）
★工作氣體：氧、氬氣，另提供一路氮氣用于冷卻樣品（高純，用戶自備）
★壓縮空氣：接口壓力大于0.5MPa（用戶自備）
★真空抽氣及測量系統：配備一臺8L機械泵，抽氣管道采用不銹鋼真空波紋管，
★控制方式：采用10寸觸摸屏+PLC組成的人機界面控制方式，操作方式包括手動模式或自動模式，在自動模式下將不同工藝參數按照配方方式管理，可同時存儲100組不同配方。使用時只需將相應配方號調出即可。
QQ客服