密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質量的空氣所輸" />

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產品中心
PECVD管式爐
產品摘要
該設備是由滑動開啟式真空管式爐,混氣系統,真空及壓力系統等組成。燒結溫度可達到1200°,通過滑動爐體來實現快速升降溫,可以通過配置不同的真空系統來達到理想的真空度,同時可以通過多路高精度質量流量計來控制不同的氣體。
產品介紹

爐體結構:日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好,支撐兩端安裝油壓緩沖器爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料

電源:AC220V,50/60HZ 功率:4KW

爐管:高純石英管尺寸:φ 40/60/80/100*1200mm

加熱系統:加熱區長度440MM 恒溫區長度200mm 工作溫度≤1150° 最高溫度1200° 升溫速率10°/min

溫控系統:溫度控制采用人工智能調節技術具有PID調節,自整定功能30段升降溫程序

混氣系統:多路質量流量計數字顯示氣體流量自動控制。流量規格:0-1SLM 流量精度±1.5%

★真空度:真空度可達(5E﹣01)torr

★可選配件:混氣系統中、高真空系統,各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件,氧含量分析儀等


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